高頻動態(tài)壓力傳感器的工作原理及其性能特點有哪些?

來源：南京愛爾傳感發(fā)布時間：2020-06-15 10:54 瀏覽量：

　　頻動態(tài)壓力傳感器在軍事工程，化爆試驗，石油勘采與土木工程學(xué)，巖土力學(xué)等液壓動力機械試驗等科學(xué)試驗與現(xiàn)代化儀器儀表中都有廣泛的應(yīng)用，它可以在極短的上升時間和寬廣優(yōu)良的響應(yīng)頻帶，以保證足夠的動態(tài)測壓精度，下面，小編就為大家簡單介紹一下高頻動態(tài)壓力傳感器的工作原理及其性能特點。

高頻動態(tài)壓力傳感器的介紹：

　　TS108高頻動態(tài)壓力傳感器針對：對化爆試驗，軍事工程，石油勘采與試井，材料，力學(xué)，土木工程學(xué)，巖土力學(xué)。

　　創(chuàng)傷醫(yī)學(xué)，液壓動力機械試驗等科學(xué)試驗與現(xiàn)代化儀器儀表中，需要不失真地測量一些變化頻率高，壓力波形上升快陡的動態(tài)壓力波形與幅值、有效值、低噪音，高分辨率，要求所用壓力傳感器具有很高的固有頻率，極短的上升時間和寬廣優(yōu)良的響應(yīng)頻帶，以保證足夠的動態(tài)測壓精度。

　　本產(chǎn)品采用微機械加工技術(shù)使得集成硅膜片尺寸小，固有頻率高，具有優(yōu)良的彈性力學(xué)特性，綜合能力優(yōu)于壓電動態(tài)壓力傳感器，成為動態(tài)測量行業(yè)首選的測壓產(chǎn)品。

高頻動態(tài)壓力傳感器的工作原理：

　　MEMS壓力傳感器是利用壓阻效應(yīng)原理,采用三維集成電路工藝及- -些專用特殊工藝在單晶硅片薄膜上的特定晶向制成4個應(yīng)變電阻構(gòu)成惠斯通檢測電橋。被測介質(zhì)施壓使橋壁電阻值發(fā)生變化，產(chǎn)生一個差動電壓信號，此信號經(jīng)專用放大電路將量程相對應(yīng)信號轉(zhuǎn)換成標(biāo)準(zhǔn)模擬信號或數(shù)字信號。